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¬~«Â™ ¾T¦Xª÷¦³¾÷»E¦Xª«²M¼ä¾¯AHLR03 (§O¦W¡G°®»k¨è¯uªÅµÄÅé¹s¥ó²M¬~¾¯)

   °®»k¨è¯uªÅµÄÅ餤¡A³QplasmaÀ»¥´Â÷¤l¤Æ«áªº§÷®Æ¡A¥¼§Y®É©â¥X¦Ó¨I¿nªþµÛ¹s¥óªºªí­±¡C¤é¿n¤ë²Ö¡A¥i¯à·|´åÂ÷ÄÀ¥X¡F°f¦Ã¬V³Q»k¨èªº¤u¥ó¡C¹Ï¤¤Åã¥ÜESC Parts(TEL8500 /VIA ETCH)¤Wªº¦³¾÷ªþµÛª«¸gAHLR03À¿«ø«á¡A¦Ã¬Vª«¤wÅãµÛ¥h°£¡F²M¼ä«á¡A¾T¦Xª÷¥»Åé¡B¶§·¥½¤¡BÁá¼h³£¤£¨ü¼v·Q¡A¤]¤£·|¨ü¶Ë¡CAHLR03¤]³Q¦¨¥\À³¥Î©ó»E¨ÈñQÓi(polyimide)ªº°®»k¨è¯uªÅµÄÅ骺²M¼ä¡C


¬~«Â™ ¥i­é½¦¥h°£¾¯AHLR03-GU (§O¦W¡G «OÅ@½¤¥h°£¾¯¡B©ö¼¹½¤²M¼ä¾¯¡BUV©T¤Æ½¦²M¬~¾¯)

   ¬Á¼þ­±ªO©ÎÃè­±ª÷ÄݪO¦b¹B¿é¡B¥[¤u¡BÀx©ñ¹Lµ{¤¤¡A¬°¤FÁקK¨í¶Ë¡A·|¶K¤W«OÅ@½¤©Î¼Q¶î¤@¼hUV©T¤Æªº¥i­é½¦¡C¦b¹L¥h¡A¼¹¤U³o¼h¥i­é½¦«á¡A¦h¨Ï¥Î¤H¤u¤è¦¡±N¨Ç·Lªº´Ý½¦À¿«ø°®²b¡C¦ý¬O­Y«e»sµ{¸g¹LCNC¤Á³Î¡A©ß¥úµ¥¡A«OÅ@¶K¼¹¤U«á¡AªuªÌ«OÅ@½¤¥~³ò·|¦³¤@°éÃø¥h°£ªº´Ý¯dª«¡C¥H¶Ç²Î¤H¤uÀ¿«ø¯Ó®É¶O¤O¡C¥þ·s¬ãµoªº¤¤©Ê¥i­é½¦¥h°£¾¯AHLR03-GU¡A¯à¦b¶W­µªi©Îºu¨ê¾÷¦Û°Ê²M¬~½u¤¤¡A§Ö³tªº²¾°£´Ý½¦¡C¥B¤£¶Ë®`ITO¡B¾TªO¡B¾T½uµ¥³nª÷ÄÝ¡C                                    §ó¦h¸ê°T..


¬~«Â™ ·L¹Ð²M¬~¾¯PTC09B (§O¦W¡GOGS­±ªO²M¬~¾¯  ITO¬Á¼þ²M¬~¾¯)

   OGSIJ±±­±ªO¦]¬°µ²ºc»P§÷½è¸û½ÆÂø¡A¦h¼Æ¦P®É»rÅSITO½u¸ô¡B¾T½u¡B»È½u¡B»É½u¡BSiO2Áá¼h¡A¦³¨ÇÁÙ¦³®ñ¤Æä¡ñS¾N¡B§Ü«ü¦¾¬t¤Æª«¡BAR coating...µ¥¡F¦b¤£¼vÅT¹q©Ê¥B¹ï²M¼ä«×ªº°ª«×­n¨D¤U¡AOGS­±ªOªº¦Û°Ê¤Æ²M¼ä§xÃø«×¶V¨Ó¶V°ª¡C¤¤©Êªº·L¹Ð²M¬~¾¯PTC09B¡A¯à¦b¤£¼vÅTOGS¹q©Ê¡BITO¹qªý­È¡B³z©ú«×ªº«e´£¤U¡A¦³®Äªº²M¼äOGS­±ªO¡C¥Ø«e¤w¦¨¥\À³¥Î©ó¦Û°Ê¤Æ²M¬~½u¡A´î¤Ö³Ì²×ºÝ¤H¤uÀ¿«øªº»Ý¨D¡F¦P®É´£¨Ñ»·¶W¹L¤H¤uÀ¿«øªº²M¼ä«×»Pí©w«×¡C


¬~«Â™ ·L¹Ð²M¬~¾¯PTC17 (§O¦W¡G ¬Á¼þ²M¼ä¾¯¡B¾ð¯×particle²M¼ä¾¯¡B¦Ç¹Ð²M¬~¾¯)

   ³zÃè¥~®Ø¶î§GGT7¶Â¦âªo¾¥«á¡A»Ý­n¸g¹L¯M½c¥[¼ö©T¯N¡C IJ±±­±ªO©Î²G´¹¿Ã¹õªº¥~³ò¡A¤£½×±Ä¥Îºô¦L©Î¥H¥ú¸n»s§@BMªº»sµ{¡A¶Â¦âªo¾¥¸gUV©T¤Æ©Î¼ö©T¤Æ¹Lµ{¤¤¡AÃø§K·|¦³out gas²£¥Í¡A³o¨Ç´åÂ÷ªº¾ðà­³æÅé¡A¦A¦¸ªþµÛ©ó³zÃè¥iµø°Ï©Î­±ªO¹Ï§Î°Ï®É¡AÅܦ¨ÃøÄñªºparticle¡C¥Ñ©ó³oÃþªº¦Ç¹Ð¨ã¦³µw¤Æ¦³¾÷polymerªº¯S©Ê¡A»·¤ñ¤@¯ëªºªoºw¡B¥Ö®h¡B¦Ç¹ÐÃø¥H²M°£¡C¥þ·s¶}µoªº·L¹Ð²M¬~¾¯PTC17¡A±Ä¥Î³Ì·sªº¤¶­±¬¡©Ê¾¯§Þ³N¡A¯àº¯³z¡B¥]Âоð¯×«¬ªº·L²É¡A¨Ï¨ä»´©ö±qªí­±²æ¸¨ ¡A«o¤£¶Ë®`¤w¸g¦¨½¤µw¤ÆªºGT7ªo¾¥¡C¤w¦¨¥\À³¥Î©ó³zÃè²M¬~¡B°ªµe¼Æimage sensor¡Bwafer²M¼ä¡C                                             §ó¦h¸ê°T..


¬~«Â™ µw¤Æªo¾¥²M¬~¾¯ACHM01-G (§O¦W¡G »Ä©ÊEpoxy²M°£¾¯¡B»Ä©Ê­éº£¾¯¡Bµw¤Æªo¾¥¤À¸Ñ¾®½¦)

   GT-7¶Â¦âepoxyªo¾¥¦b¥ú¾Ç¬Éªø´Á³Q¨Ï¥Î©ó¶Â®Ø¶î§G¡C¥Ñ©ó¨ä¦¨¤À¤¤§t¦³µJ·Ñªo(coal tar)¡A¦]¦¹­é°£µw¤Æ«áªºGT7¡A©¹©¹¨Ïªo¾¥­é°£¾¯§Ö³t¦Ñ¤Æ¡C¦b²{¦³ªº±jÆP©Êªo¾¥¥h°£¾¯¤¤¡A±`±`·|¦³­é°£¤£°®²bªº¯ÊÂI¡C¦Ó²{¦³ªº»Ä©Êªo¾¥¥h°£¾¯¡A°£¤F¦³±j¯Pªº»Ä¨ý¥~¡AÁÙ·|»G»k¤£Äÿûª÷ÄÝ»s¨ã¡C¥þ·s¶}µoªºµw¤Æªo¾¥²M¬~¾¯ACHM01-G¡A§JªA¥H¤W¯ÊÂI¡F¨ý¹D»´·L¡B¹Ø©Rªø¡Bªo¾¥­é°£«á¤£·|¦³´ÝÂI¡CACHM01-G¦P®É¤]¶}µo¥X¾®½¦¾¯«¬ACHM01-GG¡A¥i¥HªþµÛ©ó««¬y­±¡A¤£·|ºw¸¨¡CÀ³¥Î©ó­é°£º£¥]½uªºµ´½tº£¡A¥i¥H¦³®Ä´À¥N¤G´â¥ÒÖJ¡C                      §ó¦h¸ê°T..

¬~«Â™ µw¤Æªo¾¥²M¬~¾¯ACHM04-A (§O¦W¡GEpoxy­é°£¾¯¡BAB½¦¤À¸Ñ¾¯¡B µw¤ÆPU½¦¤À¸Ñ¾¯)

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¬~«Â™ ·L¹Ð²M¬~¾¯ PTC13»PPTC18 (§O¦W¡G Áá¼h­é°£¾¯)

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¬~«Â™ ®ñ¤Æ»ÉÀ¿«ø¾¯CuP01

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¬~«Â™ µw¤Æªo¾¥²M¬~¾¯ACHM01

    ¦nªºªo¾¥¡A¤£½×¬O¼öµw¤Æ«¬©ÎUVµw¤Æ«¬¡A³£±j½Õ[¸U¯à¤£·À]¡F­@¿i¡B­@¥ú¡B­@¼ö¡B­@»Ä¡B­@ÆP¡B­@·»¾¯¡C°ÝÃD¬O¡A·|¦LÃa¡F¦³®É­Ô¯M¯N®É·w¶}¤F¡A¦³®É­Ô¦Lªº¤£§¡¤Ã¡A¦³®É­Ô¤£¤p¤ßªgÂH¡B¦³®É­Ô¦Lªº°í¨c«×¤£°÷...Á`¤§¡A¦LÃa®É«ç»ò¿ì¡H¬~«Â™ µw¤Æªo¾¥²M¬~¾¯ACHM01´£¨Ñ¤F¤@ºØ¸Ñµª¡CACHM01¦P®É¤]¯à²M°£Epoxy¶Â½¦«Ê¸Ë®É¡A·¸¥X¦bplate©Î¬Á¼þ¤Wªº¶Â½¦¾ð¯×¡C


¬~«Â™ ¦X¦¨°£½¦¾¯SynGC07

    IJ±±­±ªOCG»PSensorªº¶K¦X¡A¤£½×¬Osheet OCA©Î²GºA¥ú¾Ç½¦¡A³£·|¦³¦U¼Ëªº·å²«¾É­P¶K¦X¤£¨}¡C¦Ó­«¤u­é½¦²G°£¤F¨Ï¥Î±Í¤½¥q¤ÑµM¬a¾ïªo¨t²Î°£½¦¾¯NGC01¡ANGC02¥~¡A°w¹ï¤£¦P¤½¥qªºPSA½¦¡A§Ú¤½¥qÁÙ¶}µo¤F¦X¦¨°£½¦¾¯SynGC01~07¡A¥H¹ïÀ³¤£¦Pªº°£½¦»Ý¨D¡C¦X¦¨°£½¦¾¯¤ñ¤ÑµM°£½¦¾¯°{¤õÂI§ó°ª(>80degC)¡A¨ý¹D§ó²H¡A¥i²Å¦XÄYÂÔªº¤u¦w­n¨D¡C                                       §ó¦h¸ê°T..


¬~«Â™ ¤G®ñ¤Æª¿Á¡½¤²M¬~¾¯SMC03

    ¦b¥b¾ÉÅé»sµ{¤¤¡A³]³Æ¤W¸gplasma®ð¬Û¼h¿nªø¥X¨Óªº¤G®ñ¤Æª¿¤Î´á¤Æª¿Á¡½¤¡A¨ã¦³«D±`ºò±Kªºµ²ºc¡C¥H±j»ÄÁö¯à¥h°£¡A¦ý¬O¤£Äÿû©Î¾T¦Xª÷ªí­±¾D¨ì«I»kÅܦâ¡A¤ñ¤£²M¬~ÁÙÁV¡C ¬~«Â™¤G®ñ¤Æª¿Á¡½¤²M¬~¾¯SMC03¡ApH 7.0¤¤©Êªº»ÄÆP­È¡A¤£¶Ë®`ª÷ÄÝªí­±¡A¬O°ªºë«×­n¨Dªº·s¿ï¾Ü¡C
         
                                                                         §ó¦h¸ê°T..


¬~«Â™ ´á¤ÆñS²M¬~¾¯SMC04

    LED¨Ï¥ÎplasmaÂS´¹´á¤ÆñS(Nitrided gallium, GaN)¡A®ð¬Û¨I¿nªºchamber©Îtray¤]¦P®É¾D¨ì´á¤ÆñS¦Ã¬V¡C¤@¬q®É¶¡«á¡A­Y¤£²M¬~°®²b¡A¥u¯à¿ï¾Ü³ø¼o¡C
¬~«Â™ ´á¤ÆñS²M¬~¾¯SMC04´£¨Ñ¦³®Äªº²M¬~µª®×¡C                                   
§ó¦h¸ê°T..


¬~«Â™ª¿½¦²M¬~¾¯SGC01(§O¦W¡GEpoxy²M°£¾¯ ¡B­éº£¾¯)

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    ¦bIJ±±­±ªO¤W¡A¥HEPOXY©ÎPUµ¥¨ä¥Lµw¤Æ¾ðà­¯M¯Nµw¤Æªº¶Â¦â¥~®Ø¨Ã¤£®e©ö¥h°£¡C¹L¥h´¿¦³¤H¹Á¸Õ¥H§t¬t»Äªº»G»k©Ê²M¬~ªk­é°£¡A¦ý¬O¬~«á¬Á¼þ¨ü¶Ë¡AÁٻݭn­«·s¥­©Z¤Æ¡C²{¦b¡ASGC01¥i¥H»´ÃP³B²z­é°£³oÃþªº¶Â¦â¦L¨êÃä®Ø¡C


¬~«Â™ª¿½¦²M¬~¾¯SGC04(§O¦W¡GEpoxy²M°£¾¯ ¡B­éº£¾¯)

    Cover Glass (CG, or Cover Lens)¥~®Øªo¾¥¡A¤£½×¬O¶À¥ú»sµ{ªºBM¥úªý¾¯©Îºô¦L¯M¯N©T¤Æ«¬ªºªo¾¥¡F¦@¦Pªº¯S¦â´N¬O¡G°í¨c¡B­@«p¡B¤£¦n¥h°£¡C¨Ï¥Î·»¾¯«¬ªº­é°£¾¯¡A°£¤F¨ý¹D¯ä¡BVOC³y¦¨ªº¤u¦w°ÝÃD¥~¡AÃľ¯¹Ø©R¤Óµu¡B°t¼ÑÀWÁc¡B¼Ñ²GºÞ²z§xÃø¬O´¶¹Mªº²{¶H¡C¬~«Â™ ª¿½¦²M¬~¾¯SGC04±Ä¥Î¯S®íªº¬É­±¬¡©Ê¾¯§Þ³N¡A¨Ï¥Î®É¨ý¹D»´·L¡AÃľ¯¹Ø©Rªø¡A­é°£®ÄªG§ó§Ö¡C¥¦¥i¥h°£¦hºØ§÷½èªº¦³¾÷polymer¡A¥]§tPU¡Bnylon¡Bacrylic¡BPI¡BPC¡Bepoxy¡Bsilica glue¡B¤Î§Ü¬¯¥ú¶î¼hµ¥¡CSGC04¯à²£¥Í¤j©ó-45mvªº¤¶­±¹q¦ì(zeta potential)¡A¨Ï¤u¥ó/¬Á¼þªí­±»Pparticle§Î¦¨¦³®Äªº±Æ¥¸­t¹qÀ£¡C·f°t¿W¯Sªº­@ÆPµuºÒ·Ò¤¶­±¬¡©Ê¾¯¡A°£¤F­é°£µw¤Æªo¾¥¥~¡AÁٯ঳®Ä¥h°£¦hºØªºµL¾÷©M¦³¾÷particle¡C
         
                                                                         §ó¦h¸ê°T..


¬~«Â™ »E¨ÈñQÓi²M¬~¾¯Polyimide Cleaner

     »E¨ÈñQÓi½¤ÀHµÛ¯M¯N·Å«×¼W¥[¡A¿Ë¤ô©Ê©x¯à°ò¶V¥[´î¤Ö¡A¤]¶VÃø²M¬~¥h°£¡C ¦bTFT/CF»sµ{¤¤¡A»E¨ÈñQÓiÁ¡½¤¸g§C·Å¯M¯N«á¡A¦p¦ó¿ï¾Ü©Êªº³æ³æ¥h°£Polyimide¡A¦Ó¤£¶Ë®`¨ä¥Lªº¶î¼h¡A¬O»sµ{¤¤ªº¤@¶µ½ÒÃD¡C ¬~«Â™»E¨ÈñQÓi²M¬~¾¯PIC01~PIC06¯à§¹¥þ²M¬~¦Ü¯À¬Á¼þ¦A¦¸­«¤u¡A¤]¯à¿ï¾Ü©Êªº³æ³æ¥h°£Polyimide¡C¯à³æ³æ¥h°£§C·Å¯M¯N»E¨ÈñQÓi½¤¡A¤]¯à±j®Ä¦Ü400«×C°ª·Å¯M¯N«áªºPI½¤¡A·Ó¼Ë²M¼ä·È·È¡C                                                                                           §ó¦h¸ê°T..

¬~«Â™·L¹Ð²M¬~¾¯ PTC04

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   ¦b¤Æ±j¬Á¼þ©Î¯À¬Á¼þªº²M¼ä¤W¡A¹L¥h³£±Ä¥Î§t¦³KOH°t¤èªº²M¼ä¾¯¡CÀHµÛKOH¹ï¬Á¼þªº·L»k¨è²{¶Hº¥º¥³Qµo²{¡F®ûªwµv»Ä¹[¤Æ±jªº¬Á¼þÀHµÛÀx©ñ®É¶¡º¥º¥¦R¥X¹[Â÷¤l¡A¾É­P¬Á¼þ¥ÕÃú¤Æªºª¬ªp¸g±`¥X²{¡FºÒÃì¼Æªøªº¤¶­±¬¡©Ê¾¯ªgÖߴݯd©ó¬Á¼þ¡A¤£©ö¼í¬~°®²b...µ¥°ÝÃD¶V¨Ó¶V ¨ü¨ìª`·N¡C·s¤@¥N§Þ³Nªº·L¹Ð²M¬~¾¯PTC04¤w¦¨¬°¤@½u­±ªO¼t°Ó²M¬~¬Á¼þ®É±Ä¥Îªº³Ì¨Î¿ï¾Ü¡CPTC04¯à²£¥Í¤j©ó-36mvªº¤¶­±¹q¦ì(zeta potential)¡A¨Ï¤u¥ó/¬Á¼þªí­±»Pparticle§Î¦¨¦³®Äªº±Æ¥¸­t¹qÀ£¡C·f°t¿W¯Sªº­@ÆPµuºÒ·Ò¤¶­±¬¡©Ê¾¯¡A¯à¦³®Ä¥h°£¦hºØªºµL¾÷©M¦³¾÷particle¡C
                             
                                                           §ó¦h¸ê°T..


¬~«Â™·L¹Ð²M¬~¾¯ PTC05

   ¦bIJ±±­±ªO»sµ{¤¤¡AITO¾É¹q¬Á¼þ/PET ©ó¦L¨ê¹Ï§Î¾B»\«á¡A·|¶i¦æ»Ä²Gªº»k¨è»sµ{¡C¦ý¬O»k¨è¼Ñ¨Ï¥Î¬ù1©P«á¡APVC¤ÎUPVC¼ÑÅé»PºÞ¸ô·|§Gº¡½¦ª¬Particle¡C¥H²GÆP²M¬~®ÄªG¦³­­¡A®Ä²v®t¡A³y¦¨«á¬q»sµ{¨}²v­°§C¡C¬~«Â™ ·L¹Ð²M¬~¾¯¡A¯à¦b²³æªº®ûªw¦^¬y¤U¡A¹ý©³²M¼ä¼ÑÅé»PºÞ¸ô¡C
                                                                                                                       §ó¦h¸ê°T..

¬~«Â™·L¹Ð²M¬~¾¯ PTC06

    ITO¾É¹q¬Á¼þ¦]ªø®É¶¡Àx©ñ¡A®ñ¤Æä¡¿ü(Indium tin oxide)¨T¤Æ»PªÅ®ð¤¤ªº·L¹Ð²V¦XªþµÛ©ó¾É¹q¬Á¼þªº¥t¥~¤@°¼¡C¦b·t«Ç¤¤Æ[¹î¥i¥H²M·¡¬Ý¨£¦Ðª¬©ÎÃúª¬ªº¦Ã¬Vª«ªþµÛ¡C ­n²M¬~¦¹¦Ã¬Vª«¡A»Ý¦Ò¼{¦Ã¬Vª«¦¨¤À»P¾É¹q¬Á¼þ¥t¤@°¼ªº®ñ¤Æä¡¿üÁá¼h¦¨¤À¬Ûªñ¡F¤£¾A·íªº²M¬~±N¾É­P®ñ¤Æä¡¿üÁá¼h¥Ã¤[©Êªº¶Ë®`¡C PTC06¬O¬°¦¹²M¬~¥Øªº³]­pªº±M¥Î²M¬~¾¯¡C¥Ø«e¤w¦¨¥\À³¥Î©ó·~¬É¡C

¬~«Â™³³²¡°ò§÷²M¼ä¾¯CSC01

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